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技术服务目录
按系统、数据、集成、交付组织产品服务条目。
上海精密轴套加工：微米级精度如何保障半导体设备稳定运行
半导体设备的运动精度，往往取决于几个不起眼的零件。当光刻机工作台以纳米级步进移动时，支撑其滑动的精密轴套与精密衬套一旦出现微米级偏差，整台设备的良率就会受到直接影响。在...
方案集成支持
半导体设备中精密轴套与精密衬套的微米级加工精度控制方法
在半导体前道设备中，晶圆传输机械手的重复定位精度常被要求控制在±1μm以内，这对运动部件提出了近乎苛刻的要求。精密轴套与精密衬套作为直线运动模组中的核心导向元件，其内孔...
方案集成支持
精密轴套与精密衬套的选型要点：面向半导体设备的微米级加工方案解析
半导体设备中的微米级挑战：从一根轴套说起 在晶圆传输机械臂或光刻机工件台中，一根看似普通的精密轴套如果内孔公差超出0.5微米，就可能导致定位重复性下降，进而影响套刻精度...
方案集成支持
精密轴套与精密衬套的选型要点：为半导体设备微米级精度保驾护航
半导体设备腔体内部，一片晶圆从传输到定位再到检测，每一步都依赖微米级甚至亚微米级的运动精度。当设备工程师面对导轨精度达标、但系统重复定位精度依然漂移的问题时，往往会把目...
方案集成支持
技术服务图
半导体设备中精密导轨与直线轴承的配合方案设计解析
在半导体前道与后道设备中，晶圆传输、光刻对准、固晶焊线等模组的定位精度常需控制在微米级。导轨与直线轴承的配合方案，直接决定了运动平台的刚性、寿命与重复定位精度。不少设备...
方案集成支持