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技术服务目录
按系统、数据、集成、交付组织产品服务条目。
技术服务图
半导体设备精密轴套与精密衬套的微米级加工技术解析
在半导体制造的洁净车间里，晶圆传输机械臂每完成一次取放动作，其关节处的精密轴套就要承受数十万次微米级的往复摩擦。当线宽制程推进到3nm以下，任何超过±2μm的径向跳动，...
方案集成支持
2024年长三角精密导轨市场现状及高精度加工趋势
长三角地区的精密制造产业，正经历着一场由终端需求倒逼的深度变革。作为深耕该区域的配套企业，我们观察到，2024年市场对运动控制部件的核心诉求，已从单纯的“精度达标”转向...
方案集成支持
技术服务图
半导体设备精密导轨与直线轴承选型技术要点解析
半导体制造设备对运动控制部件的精度要求，正随着晶圆制程的微缩而愈发苛刻。在光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备中，任何微米级的偏差都可能直接导致良率下降。作为设备核心传动链上的...
方案集成支持
滚珠丝杠支撑用精密轴承座与轴套的配合公差设计要点
在滚珠丝杠传动系统中，支撑端的轴承座与轴套配合设计，往往决定了整台设备的精度寿命与噪音水平。很多工程师在选型时关注丝杠本身的等级，却忽略了与之配套的精密轴套和轴承座公差...
方案集成支持
精密轴套与衬套在半导体设备中的关键作用及选型要点
在半导体制造设备中，晶圆搬运、光刻对准、薄膜沉积等工序对运动部件的重复定位精度要求往往以微米甚至亚微米计。而承担导向与支撑功能的精密轴套、精密衬套以及精密导轨，其配合间...
方案集成支持