PRODUCT
产品中心
CATALOG
技术服务目录
按系统、数据、集成、交付组织产品服务条目。
技术服务图
半导体设备中精密导轨与直线轴承的精度保持方案
在半导体前道设备中，晶圆传输、光刻工作台与检测模组的重复定位精度往往要求在微米甚至亚微米级。精密导轨与直线轴承作为运动基准件，其精度保持能力直接决定设备的良率稳定性。实...
方案集成支持
技术服务图
滚珠丝杠的精度等级与预压方式对设备定位稳定性的影响
在精密传动领域，滚珠丝杠的定位稳定性并不单纯由丝杠本身的制造精度决定。很多设备在装配完成后出现定位漂移、重复定位精度不达标的问题，根源往往在于精度等级选型与预压方式之间...
方案集成支持
技术服务图
半导体设备中精密轴套与精密衬套的选型要点与精度控制方法
在半导体前道设备中，晶圆传输、光刻工件台、刻蚀腔体升降机构等核心模组对运动精度的要求已进入亚微米甚至纳米级。很多设备工程师在整机调试时发现，即便选用了高等级精密导轨和滚...
方案集成支持
技术服务图
精密导轨与直线轴承在长三角精密仪器制造中的配套方案
在长三角地区走访精密仪器制造企业时，一个反复出现的场景值得关注：某台进口光学检测设备在调试阶段出现微米级定位漂移，工程师排查了伺服参数、编码器信号甚至环境温度，最终发现...
方案集成支持
技术服务图
滚珠丝杠配合精密衬套如何保障设备微米级运行精度
在精密装备领域，微米级运行精度从来不是单一零件能独立承担的结果，而是传动链上各环节协同作用的产物。滚珠丝杠作为直线运动的核心传动元件，其自身精度等级固然重要，但若支撑与...
方案集成支持