PRODUCT
产品中心
CATALOG
技术服务目录
按系统、数据、集成、交付组织产品服务条目。
半导体设备精密轴套加工精度控制与检测方法解析
半导体前道制程设备对运动模组的精度要求已进入亚微米时代。以光刻机工件台为例，其导轨系统的直线度偏差超过0.5μm就会直接导致套刻精度劣化。精密轴套与精密衬套作为旋转与直...
方案集成支持
半导体设备精密轴套加工精度控制要点全解析
在半导体设备的高精度运动系统中，精密轴套与精密衬套的加工质量，往往直接决定了晶圆传输机械臂的重复定位精度。很多工程师只关注伺服电机和光栅尺的选型，却忽略了这些看似不起眼...
方案集成支持
半导体设备精密轴套与导轨的微米级加工技术要点解析
半导体制造设备的精度天花板，往往不在光刻机那套复杂的物镜系统里，而在那些不起眼的运动部件上。晶圆搬运机械臂每完成一次取放，导轨与轴套就要经历一次微米级的定位考验。上海紫...
方案集成支持
半导体设备精密轴套与衬套的微米级加工工艺解析
从晶圆到设备：一根轴套的微米级使命 在半导体制造设备的腔体内部，每一次机械臂的伸缩、每一个晶圆载台的升降，背后都依赖着精密轴套与精密衬套的毫厘支撑。当制程节点推进到3n...
方案集成支持
半导体设备精密轴套与导轨的微米级加工精度控制方案
半导体制造设备的精度竞争，早已从光刻机、刻蚀机等主机台蔓延到了每一颗不起眼的机械零部件。在晶圆搬运机械手、离子注入机扫描台、以及化学机械抛光（CMP）设备中，精密轴套、...
方案集成支持